Band 13 der Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech, Erscheinungsjahr 2009

Wer möchte heute auf automatisch auslösende Airbags oder elektronische Stabilitätsprogramme im Automobil verzichten? Diese Produkte sind ohne eine ausgefeilte Mikrosystemtechnik nicht möglich. Doch die "klassische" Mikrosystemtechnik gelangt zunehmend an ihre Grenzen. Die steigenden Anforderungen an die Systemtechnik hinsichtlich Miniaturisierung und Erweiterung des Leistungsspektrums sind mit gängigen Methoden und Materialien nicht zu erfüllen.

Einen Ausweg bietet die Nanotechnologie. Mit ihr können Materialien bereitgestellt und Verfahren entwickelt werden, um Bauteile technisch leistungsfähiger und gleichzeitig kleiner produzieren zu können. Dank der Nanotechnologie können zukünftig etwa Sensibilität und Lebensdauer von Sensoren erhöht werden bei gleichzeitiger Senkung des Energie- und Materialverbrauchs. Die Mikro-Nano-Integration, die Kombination aus beiden Disziplinen, wird der Mikrosystemtechnik zu großen Entwicklungssprüngen verhelfen.

Die vom mst-Netzwerk Rhein-Main e.V. im Auftrag der Aktionslinie Hessen-Nanotech erstellte Broschüre "Mikro-Nano-Integration" gibt einen Überblick über aktuelle und zukünftige Möglichkeiten des Einsatzes von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik und zeigt den aktuellen Stand der Forschung.